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经营范围
发明名称
半导体装置
摘要
本实施形态之半导体装置具备:半导体基板;第1接触插塞,其上端部之直径尺寸大于下端部之直径尺寸;第1绝缘膜,其覆盖第1接触插塞;第2接触插塞,其下端部接合于第1接触插塞之上端部,且上端部之直径尺寸小于下端部之直径尺寸;第2绝缘膜,其覆盖第2接触插塞;配线层,其于下端部接合有第2接触插塞之上端部;第3绝缘膜,其覆盖配线层;及阶差,其形成于第1接触插塞之上端部中之未由第2接触插塞之下端部覆盖之部分。
申请公布号
TW201513282
申请公布日期
2015.04.01
申请号
TW103106879
申请日期
2014.02.27
申请人
东芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
兼子元 KANEKO, HAJIME;岛田庆一 SHIMADA, KEIICHI;臼井孝公 USUI, TAKAMASA
分类号
H01L23/48(2006.01);H01L23/52(2006.01)
主分类号
H01L23/48(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本 JP
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