表面形状测定装置

主权项

一种表面形状测定装置，其特征乃具备：为了载置被测定构件之载置台，和沿前述载置台之X轴方向，以特定之间隔邻接设置，以非接触测定前述被测定构件之表面位移，做为测定资料各别加以输出之复数之气体扫描器，和为使前述复数气体扫描器成为一体，沿前述载置台之Y轴方向，向一方向移动之后，向前述X轴方向移动，再沿前述Y轴方向，对于前述一方向而言，向反方向移动之驱动控制部，和对应于各个前述复数之气体扫描器而设置，各别具有输出从对应之前述气体扫描器以特定之取样间隔连续获得之复数之前述测定资料加以平均化之表面位移资料之CPU的第1资料处理部，和供给前述复数之第1资料处理部之输出之前述表面位移资料，合成此等之前述表面位移资料，以生成前述被测定构件之表面形状资料的第2资料处理部。