使用同步化雷射脉冲的雷射辅助装置修改系统及方法

主权项

一种可与一自动化测试设备(ATE)连结操作之雷射辅助装置修改(LADA)系统，以检测测试中的积体电路装置，并包括：一控制器，用以从该ATE接收并分析测试信号；时序控制电子元件，以从该ATE接收一时钟信号，该时序控制电子元件包括一第一反馈回路，用以产生一同步信号，用于将雷射脉冲同步于该时钟信号；一可微调脉冲雷射源，用以产生该雷射脉冲，并具有一可微调雷射腔，及一第二反馈回路，以控制该可微调雷射腔，以产生该雷射脉冲所需之脉冲率；光学装置，以从该可微调脉冲雷射源接收雷射脉冲，并导引该雷射脉冲至该待测装置(DUT)上之所需位置；其中该时序控制电子元件建置成可将该雷射脉冲抵达该DUT内之电晶体之时间，设定成与该时钟时间同步的时间，以改变该电晶体对于该ATE施加于该DUT之测试信号的反应，且其中该控制器建置成可侦测该经改变之电晶体回应。