| 发明名称 |
液体钛氧化物组合物，其形成方法及使用其蚀刻基板之材料层或覆盖基板之方法;LIQUID TITANIUM OXIDE COMPOSITIONS, METHODS FOR FORMING THE SAME, AND METHODS FOR ETCHING MATERIAL LAYERS OF OR OVERLYING SUBSTRATES USING THE SAME |
| 摘要 |
本发明提供液体钛氧化物组合物，形成此类组合物之方法及使用此类组合物蚀刻材料层之方法。根据一例示性实施例，液体钛氧化物组合物含有溶剂系统、有机钛酸酯及具有在约140℃至约400℃之范围内之沸点的高沸点溶剂。 Liquid titanium oxide compositions, methods for forming such compositions, and methods for etching material layers using such compositions are provided. In accordance with an exemplary embodiment, a liquid titanium oxide composition contains a solvent system, an organotitanate, and a high boiling point solvent having a boiling point in the range of about 140℃ |
| 申请公布号 |
TW201512212 |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
| 申请号 |
TW103119602 |
申请日期 |
2014.06.05 |
| 申请人 |
哈尼威尔国际公司 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
吴 海伦Ｘ XU, HELEN X.;史比尔 理查Ａ SPEAR, RICHARD A.;梁 罗杰Ｙ LEUNG, ROGER Y.;密亭 理亚Ｍ METIN, LEA M.;谢松元 XIE, SONGYUAN;吴泽宇 WU, ZEYU B.;肯尼迪 乔瑟夫Ｔ KENNEDY, JOSEPH T. |
| 分类号 |
C07F7/28(2006.01);C08G79/00(2006.01);B05D7/24(2006.01);B05D3/02(2006.01);H01L21/308(2006.01);H01L21/316(2006.01);H01L21/302(2006.01) |
主分类号 |
C07F7/28(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
