| 发明名称 |
用于增进化学物种之产生之试剂;REAGENT FOR ENHANCING GENERATION OF CHEMICAL SPECIES |
| 摘要 |
本发明系揭示增进光酸产生剂的酸产生之试剂以及含有此种试剂之组成物。 |
| 申请公布号 |
TW201512162 |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
| 申请号 |
TW103121689 |
申请日期 |
2014.06.24 |
| 申请人 |
东洋合成工业股份有限公司 TOYO GOSEI CO., LTD. |
发明人 |
榎本智至 ENOMOTO, SATOSHI |
| 分类号 |
C07C43/23(2006.01);C07C35/38(2006.01);C07C39/12(2006.01);C07D219/06(2006.01);C07D311/86(2006.01);C07D335/16(2006.01);C07C49/782(2006.01);C07C33/24(2006.01);C07D309/12(2006.01);G03F7/028(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C07C43/23(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
