发明名称 膜体与积体电路分离装置
摘要
申请公布号 TWM498382 申请公布日期 2015.04.01
申请号 TW103218479 申请日期 2014.10.17
申请人 均华精密工业股份有限公司 发明人 赖宏能;许志宏
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 林坤成 台北市信义区松德路171号2楼;林瑞祥 台北市信义区松德路171号2楼
主权项 一种膜体与积体电路分离装置,其系供一膜体设置,该膜体的一面贴附有至少一积体电路,该膜体与积体电路分离装置具有:一承台,其具有至少一凹槽,各凹槽的底端具有一穿孔;一吹气单元,其系升降地设于该承台的下方;以及一吸取单元,其系升降地设于该承台的上方;其中,该膜体的另一面系贴附于该承台,各积体电路系相对于各凹槽;该吹气单元系提供一高压气体给该承台,而使该膜体产生变形,该吸取单元系提供一负压气体给取放头,并使该膜体与该积体电路相互分离,以使该吸取单元吸取该积体电路。
地址 新北市土城区民生街2之1号
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