| 主权项 |
一种制作具有用于与一电路组件或微电子元件电互连之电极之一组件之方法，其包括：自具有小于10ppm/℃之一有效CTE之一基板之一第一表面移除材料，以形成自该第一表面朝向与该第一表面相对之一第二表面延伸之复数个第一开口，该等第一开口界定一波浪内表面；形成上覆该内表面的一电容器介电层，该电容器介电层具有背对该内表面之一波浪第一表面；形成上覆该电容器介电层之该第一表面且延伸至该等第一开口中之每一者中的一第一金属元件；移除该基板在该复数个第一开口中之毗邻第一开口之间之材料以便曝露该电容器介电层之一波浪第二表面，以形成自该第二表面朝向该第一表面延伸之复数个第二开口；及形成上覆该电容器介电层之该第二表面且延伸至该等第二开口中之每一者中的一第二金属元件。
|
