发明名称 |
Verfahren,Vorrichtung und System zur Herstellung von Verbindungen zu integrierten Schaltungen |
摘要 |
A feedback controlled spacial-force mechanism is used with a variety of tools for integrated circuit fabrication. The mechanism utilizes a force producing element having a force which may be held constant over a practical range of displacement. |
申请公布号 |
DE2149748(A1) |
申请公布日期 |
1972.04.06 |
申请号 |
DE19712149748 |
申请日期 |
1971.10.05 |
申请人 |
HONEYWELL INFORMATION SYSTEMS INC. |
发明人 |
WAYNE UMBAUGH,CHARLES |
分类号 |
B23K20/02;B23K20/10;H01L21/00 |
主分类号 |
B23K20/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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