自动监控制程的方法

摘要

本发明提供一种自动监控制程的方法，其包括下列步骤。依序提供多个基板，使上述基板依序经过第一位置及第二位置。于第一位置及第二位置侦测上述基板。当经过第一位置的各上述基板于一预定时间仍未通过第二位置时，等待预定延迟时间。在等待预定延迟时间后，经过第一位置的各上述基板仍未通过第二位置时，产生一警报。基于上述，本发明的自动监控制程的方法可以监控基板运作的状况，且可即时地得知基板搬送上的异常，进而避免基板大量迭片而造成成本上的损失。

主权项

一种自动监控制程的方法，用以监控基板搬运上的异常状况，其特征在于，包括：依序提供多个基板，使所述基板依序经过第一位置及第二位置；于所述第一位置及所述第二位置侦测所述基板；当经过所述第一位置的各所述基板于预定时间仍未通过所述第二位置时，等待预定延迟时间；在等待所述预定延迟时间后，经过所述第一位置的各所述基板仍未通过所述第二位置时，产生警报；以及在产生所述警报之后，停止提供所述基板至所述第一位置。