发明名称 |
一种半导体叠层封装方法 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体叠层封装方法,包括以下步骤:将芯片堆叠,堆叠时,上层芯片不覆盖下层芯片上的凸点,其中,顶层芯片上无凸点;在芯片上方涂覆树脂材料;所述树脂材料完全覆盖芯片上的凸点;对涂敷树脂的芯片的侧面进行打磨或抛光,露出凸点的一部分;在抛光后的树脂材料层以及露出的凸点上设置导电材料。与现有技术相比,本发明的有益效果是:该新的封装结构及工艺不仅降低的芯片堆叠封装的高度,特别是顶层芯片封装的高度,有利于节约后续产品的空间,同时,本封装方法工艺成熟,节省了封装的耗材,操作简便。另一方面,封装后凸点之间的导电面积增大,电性能更加稳定优异,延长了封装产品的使用寿命。 |
申请公布号 |
CN104485291A |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
申请号 |
CN201410812371.X |
申请日期 |
2014.12.23 |
申请人 |
南通富士通微电子股份有限公司 |
发明人 |
石磊 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 |
代理人 |
蒋路帆 |
主权项 |
一种半导体叠层封装方法,包括以下步骤:将芯片堆叠,堆叠时,上层芯片不覆盖下层芯片上的凸点,其中,顶层芯片上无凸点;在芯片上方涂覆树脂材料;所述树脂材料完全覆盖芯片上的凸点;对涂敷树脂的芯片的侧面进行打磨或抛光,露出凸点的一部分;在抛光后的树脂材料层以及露出的凸点上设置导电材料。 |
地址 |
226004 江苏省南通市崇川路288号 |