可挠式感测模组的制造方法及其成品

摘要

一种可挠式感测模组的制造方法，首先是在由玻璃所构成且具有初始厚度的支撑基板的第一表面上形成可将入射辐射吸收并转换为电讯号的电讯号产生元件；接着在支撑基板上形成可剥离地且完整地覆盖住该电讯号产生元件的抗蚀刻层；再以氢氟酸对支撑基板的相反于其第一表面的第二表面进行玻璃蚀刻而薄化支撑基板，令支撑基板由初始厚度薄化为具可挠性的基板；最后移除剩余之抗蚀刻层，而制得本发明可挠式感测模组。此外，本发明还同时供一种可挠式感测模组。