System zur Herstellung von ultrareinem Wasser mit Laborqualität

摘要

System zur Herstellung von ultrareinem Wasser mit einem spezifischen Widerstand von zumindest 18,0 Megohm·cm und einem Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff von weniger als 1 ppb, umfassend die folgenden Elemente, die alle in Fluidkommunikation miteinander stehen: (a) eine Eintragswasserquelle (40); (b) eine Pumpe (44); (c) zumindest zwei Doppelgehäuse (A, B) zur Aufnahme von zumindest fünf Reinigungsmedien, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die aus Redoxmedien, mit Säure gewaschener bituminöser Aktivkohle, mit Säure gewaschener Kokosnußschalen-Aktivkohle, Mischbett-Ionenaustauschharz mit Halbleiterqualität und katalytischer Aktivkohle mit einer Peroxidzahl≤14 besteht, wobei jedes Doppelgehäuse zwei aneinandergrenzende Kammern 1 und 2 aufweist, die durch eine gemeinsame Wand (20–24) getrennt sind und miteinander in in Reihe geschalteter Fluidkommunikation stehen, derart, dass beide Kammern 1 und 2 in gleicher Richtung von oben nach unten durchströmbar sind und wobei jedes Doppelgehäuse (A, B) an der oberen Abschlusskappe (12) über eine Fluideinlaßöffnung (18) und eine Permeatauslaßöffnung (28) verfügt; (d) einen Sensor (52) für den spezifischen Widerstand; (e) ein Verteilungsventil (54), das ultrareines Wasser aus dem System abgeben kann, während der stromabwärtige Fluß verhindert wird; (f) einen Verwendungsort-Filter (55), stromabwärts und unmittelbar an dem Verteilungsventil (54) und mit einer mittleren Porengrößenbemessung von bis zu 0,2 Mikrometer, der Teilchen und Bakterien entfernen kann; (g) ein erstes Steuerventil (57) zwischen der Pumpe (44) und dem Verteilungsventil (54), um den Rückfluß des Eintragswasser zu verhindern; und (h) eine Probenentnahme-Öffnung mit Filterverbindung (60) in Kommunikation mit einem Instrument (62), das den Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff des durch das System hergestellten ultrareinen Wassers analysieren kann.