发明名称 MULT-INJECTION TYPE RF THERMAL PLASMA PROCESSING APPARATUS AND RF THERMAL PLASMA TORCH
摘要
申请公布号 KR101506243(B1) 申请公布日期 2015.03.26
申请号 KR20130102334 申请日期 2013.08.28
申请人 发明人
分类号 B01J19/08;H05H1/26 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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