一种湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种湿度传感器及其制备方法，包括：表面绝缘的衬底，位于绝缘表面的湿敏材料和叉指电极薄膜层，湿敏材料分布于叉指电极之间，且与叉指电极相键联；湿敏材料为叉指电极材料的氧化态。还提供了湿度传感器的制备方法，包括：提供一表面绝缘的衬底；在绝缘表面形成一层氧化态湿敏材料；在湿敏材料表面形成叉指电极图案掩膜；在叉指电极图案掩膜的保护下，对湿敏材料进行还原工艺，在湿敏材料间形成叉指电极；叉指电极图案掩膜遮挡住的湿敏材料部分未被还原，叉指电极图案掩膜暴露的湿敏材料部分被还原成叉指电极材料；去除叉指电极图案掩膜。从而有利于制备出较薄氧化石墨烯湿度传感器，提高湿度传感器灵敏度。

主权项

一种湿度传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的表面绝缘；湿敏材料和叉指电极薄膜层，其位于所述绝缘表面，所述湿敏材料分布于所述叉指电极之间，且与所述叉指电极相键联；其中所述湿敏材料为所述叉指电极材料的氧化态。