用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置及光刻设备

摘要

本发明公开一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置，包括：主支架（1）、Y方向支架（19）、Y方向刀口驱动装置（b1）、X方向支架（11a）、X方向刀口驱动装置（b2），该X方向刀口驱动装置设置在该X方向支架上，该X方向支架设置在该主支架上，该Y方向刀口驱动装置设置在该Y方向支架上；还包括补偿单元和支撑簧片，该Y方向支架的底部通过该补偿单元设置在该主支架上，该Y方向支架的侧壁通过该支撑簧片与该主支架连接。

主权项

一种用于补偿照明扫描向刀口驱动反力的装置，包括：主支架、Y方向支架、Y方向刀口驱动装置、X方向支架、X方向刀口驱动装置，所述X方向刀口驱动装置设置在所述X方向支架上，所述X方向支架设置在所述主支架上，所述Y方向刀口驱动装置设置在所述Y方向支架上；还包括补偿单元和支撑簧片，所述Y方向支架的底部通过所述补偿单元设置在所述主支架上，所述Y方向支架的侧壁通过所述支撑簧片与所述主支架连接，所述补偿单元是一音圈电机位置补偿单元，所述音圈电机位置补偿单元包括：永磁铁、线圈、磁铁、定子基座和动子基座，其特征在于，所述永磁铁包括第一永磁铁和第二永磁铁；所述线圈为音圈电机线圈部分；所述磁铁为音圈电机磁铁部分；所述定子基座为音圈电机定子基座；所述动子基座为音圈电机动子基座组成；所述音圈电机类似一个主动阻尼器，用于衰减反力引起的y扫描向刀口驱动补偿单元的垂向位移，并用于动态调整和补偿所述扫描向刀口驱动补偿单元的垂向位置。