| 发明名称 | 一种缺陷检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及缺陷检测技术领域，尤其涉及一种缺陷检测方法，本发明通过利用缺陷检测设备获取扫描机台扫描待测芯片的扫描方式信息，并采用与该扫描方式信息一一对应的方式对待测芯片进行缺陷检测，实现了缺陷检测设备侦测方法可变且多重，从而解决了由于扫描机台扫描方式不同造成缺陷检测设备再侦测失败的情况，大大提高了缺陷定位的准确性，提高了缺陷检测的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104465441A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410697386.6 | 申请日期 | 2014.11.26 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 郭贤权;姬峰;许向辉;陈超 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人 | 吴俊 |
| 主权项 | 一种缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：提供待测芯片；采用一扫描机台对所述待测芯片进行缺陷扫描；获取所述扫描机台扫描所述待测芯片的扫描方式信息；根据所述扫描方式信息，对所述待测芯片进行缺陷检测。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||