| 发明名称 | 用于蒸镀工艺的掩膜板的制造方法及其结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了用于蒸镀工艺的掩膜板的制造方法及其结构。掩膜板本体设有开口区域，该方法包括如下步骤：对掩膜板本体的表面镀锌，形成锌层；对掩膜板本体的表面镀铬，形成铬层。该结构包括掩膜板本体、掩膜板本体的表面依次镀覆有锌层和铬层。在掩膜板本体的表面镀有锌层，锌层的厚度的范围较大，可以用来减小开口区域的宽度，使得该掩膜板符合高像素密度的要求，镀有铬层的厚度较小，对于开口区域宽度的影响几乎可以忽略，但是铬层具有较强的硬度，在进行蒸镀时，使得该掩膜板不会发生形变。 | ||
| 申请公布号 | CN104451537A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410799588.1 | 申请日期 | 2014.12.19 |
| 申请人 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 张秀玉;党鹏乐;刘周英;张小宝;丁立薇;胡思明;张婷婷;朱晖 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 唐清凯 |
| 主权项 | 一种用于蒸镀工艺的掩膜板的制造方法，所述掩膜板本体设有开口区域，其特征在于，包括如下步骤：对所述掩膜板本体的表面镀锌，形成锌层；对所述掩膜板本体的表面镀铬，形成铬层。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号 | ||