凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法、凹凸構造膜付きガラス基板、太陽電池、及び、太陽電池の製造方法

摘要

【課題】精度良く微細な凹凸構造をドライエッチングにより付与することのできる凹凸構造膜付きガラス基板のドライエッチングを用いた製造方法、凹凸構造膜付きガラス基板、太陽電池、及び、太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】ドライエッチング時の蒸気圧が互いに異なる複数の酸化物からなるガラス基板に凹凸構造を付与するにあたり、ガラス基板の平坦な表面に、単一材料から構成される被加工膜を形成する被加工膜形成工程と、被加工膜の表面に、周期的な凹凸構造をドライエッチングで形成する凹凸構造形成工程と、を含むようにし、精度良く微細な凹凸構造がドライエッチングにより付与されるようにした。【選択図】図１