流体ナノファンネルを有する装置、関連する方法、製造及び解析システム

摘要

流体チャネルを有するチップの形成方法は、幅広端部と幅狭端部とを有する少なくとも１つのナノファンネルを平面基板内に形成（例えばミリング）するステップであって、ナノファンネルは長さを有し、その長さに渡り幅及び深さ寸法が両方共に変化する、ステップと、少なくとも１つのナノチャネルを、平面基板内におけるナノファンネルの幅狭端部に隣接する接合部に形成（例えばミリング）するステップとを含む。