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发明名称 縦型の誘電体層を有する半導体素子構造
摘要 <p>A method for producing a semiconductor structure and a semiconductor component are described.</p>
申请公布号 JP5686860(B2) 申请公布日期 2015.03.18
申请号 JP20130146627 申请日期 2013.07.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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