湿式蚀刻图案化组合物及方法;WET ETCHING PATTERNING COMPOSITIONS AND METHODS

摘要

一种方法，其包含使用水性蚀刻溶液根据图案来蚀刻包含导电结构之薄膜，以便提供具有第一导电性之蚀刻区域及具有第二导电性之未蚀刻区域，该第二导电性大于该第一导电性，其中该水性蚀刻溶液包含25至65重量%的磷酸及1至18重量%的硝酸，或该水性蚀刻溶液包含65至75重量%的硝酸。