高折射率透明性薄膜之制造方法及以该方法制造之薄膜

摘要

本发明提供一种可以短时间容易地制造具有较高折射率及较高透明性且经图案化之薄膜之制造方法、及以该方法制造之高折射率薄膜。;本发明之薄膜之制造方法包含第一步骤：利用经下述式(1)所表示之磷化合物改质之含金属氧化物之溶胶于基板上形成涂膜之步骤、;(式(1)中，R 1 为氢原子、烷基、炔基、烯基、芳基、脂肪族杂环基、或芳香族杂环基，R 2 为二价之有机残基，n为1或2);第二步骤：对第一步骤所获得之基板上之涂膜照射光而使其硬化之步骤、及第三步骤：对第二步骤所获得之硬化物进而藉由加热及/或光之照射施加能量之步骤。