发明名称 PROCEDE DE CONTROLE DE LA PERIODE D'UN ASSEMBLAGE NANO-STRUCTURE COMPRENANT UN MELANGE DE COPOLYMERES A BLOCS
摘要 La présente invention concerne un procédé de contrôle de la période d'un assemblage nano-structuré comprenant un mélange de copolymères à blocs déposé sur une surface ou dans un moule. Les copolymères à blocs sont caractérisés par la possession d'au moins un des monomères constitutifs respectivement de chacun des blocs des copolymères à blocs identiques mais présentent des masses moléculaires différentes. Le procédé de contrôle vise à obtenir des épaisseurs de films ou des objets, sans défauts de nanostructuration , suffisamment importantes pour que la surface traitée puisse être utilisée en tant que masques pour des applications en microélectronique ou que les objets en résultant présentent des caractéristiques mécaniques, acoustiques ou optiques inédites.
申请公布号 FR3010411(A1) 申请公布日期 2015.03.13
申请号 FR20130058625 申请日期 2013.09.09
申请人 ARKEMA FRANCE 发明人 NAVARRO CHRISTOPHE;CHEVALIER XAVIER;NICOLET CELIA;ILIOPOULOS ILIAS;TIRON RALUCA;FLEURY GUILLAUME;HADZIIOANNOU GEORGES
分类号 C09D153/00;C08F2/38;C08J5/18;G03F7/16 主分类号 C09D153/00
代理机构 代理人
主权项
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