Thermischer Durchflussmesser

摘要

Ein thermischer Durchflussmesser, der Durchflussraten eines Gases, das in einer Vorwärtsrichtung und einer Rückwärtsrichtung strömt, mit einem hohen Grad an Genauigkeit messen kann, wird bereitgestellt. Ein thermischer Durchflussmesser 300 umfasst gemäß der vorliegenden Erfindung einen Bypasskanal, der konfiguriert ist, ein Messzielgas 30 zu erfassen und zu strömen, das von einem Hauptkanal 124 empfangen wurde, und eine Durchflussratenmessschaltung 601, die konfiguriert ist, eine Durchflussrate durch Ausführen von Wärmeübertragung mit dem Messzielgas, das im Bypasskanal strömt, zu messen. In einer Auslassöffnungsseitenkammer 4216, die anströmseitig in Bezug auf eine Auslassöffnung 352 des Bypasskanals bereitgestellt ist, der derart gebildet ist, dass er in einer Abströmrichtung in einer Strömungsrichtung des Messzielgases offen ist, ist eine Führung 4217 bereitgestellt, um der Auslassöffnung entgegenzuwirken und eine Richtung eines Strömens des Messzielgases zu ändern, das von der gegenüberliegenden Seite einströmt, und die Auslassöffnung und eine Einströmungseinheit der Auslassöffnungsseitenkammer sind derart angeordnet, dass sie exzentrisch sind, wenn sie in einer Richtung entlang der Strömungsrichtung des Messzielgases gesehen werden, das im Hauptkanal strömt.