发明名称 Schaltungsanordnung und Verfahren zum Bewerten von Kapazitäten
摘要
申请公布号 DE10010946(C2) 申请公布日期 2002.06.20
申请号 DE20001010946 申请日期 2000.03.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 THEWES, ROLAND;LINNENBANK, CARSTEN;KOLLMER, UTE;SAUTER, STEPHAN
分类号 G01R27/26;(IPC1-7):G01R27/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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