发明名称 一种内埋置电容器的印刷电路板及其制造方法
摘要 本发明公开了一种内埋置电容器的印刷电路板,包括多个电路层、以及多个分别位于各电路层之间的绝缘层,所述的绝缘层包括第一基板层和第二基板层,电容器设置在第二基板层中且位于第一基板层的上表面处,其特征在于:电容器的两极为两个梳齿状交错排列的电容极片,两个电容极片的上表面设有穿过第二基板层的微通孔,微通孔的连接端设置在第二基板层的表面上与电路层连接。本发明的优点:减小封装体积、提高电气性能、增加印刷电路板中内埋置电容器的电容量;本发明制造方法固化温度较低,可有效提高生产效率,降低成本;所采用的基板材料来源广泛、价格便宜,固化温度较低,对设备和工艺技术的要求大大降低。
申请公布号 CN102548211B 申请公布日期 2015.03.11
申请号 CN201210000931.2 申请日期 2012.01.04
申请人 桂林电子科技大学 发明人 潘开林;丘伟阳;王双平;李鹏
分类号 H05K1/16(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I 主分类号 H05K1/16(2006.01)I
代理机构 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 代理人 刘梅芳
主权项 一种内埋置电容器的印刷电路板的制造方法,其特征在于:包括(a)提供绝缘层第一基板层,在第一基板层上旋转涂覆介电质材料,轻度固化形成介电层;(b)在介电层上旋转涂覆光刻胶,轻度固化;(c)光刻胶曝光,定义两个梳齿形电容极片图形,然后蚀刻介电质材料,形成两片相互交错排列的梳齿形电容极片沟槽;(d)移除介电层表面的光刻胶;(e)在两个梳齿形电容极片的沟槽和介电层表面电镀铜,形成种子层;(f)移除介电层上表面的全部电镀铜所形成的种子层,形成两片相互交错排列的梳齿形电容极片;(g)介电层表面旋转涂覆光刻胶;(h)光刻胶曝光,移除两个电容极片轮廓外多余的介电质材料;(i)移除曝光后的光刻胶,得到第一基板层表面上的两片相互交错排列的梳齿形电容器;(j)在电容器的表面和第一基板层上旋转涂覆绝缘材料,形成第二基板层;(k)在第二基板层的上表面旋转涂覆光刻胶,轻度固化;(l)光刻胶曝光,刻蚀第二基板层,形成微孔;(m)移除第二基板层上表面的光刻胶;(n)在微孔壁上电镀铜,形成微通孔,同时在第二基板层的上表面形成种子层;(o)在种子层的上表面旋转涂覆光刻胶;(p)光刻胶曝光,刻蚀以去除第二基板层表面电镀铜形成的种子层镀铜,形成微通孔连接端;(q)移除光刻胶,形成具有微通孔的内埋置电容的绝缘层;轻度固化的固化温度为60‑80℃;其中微通孔实现内埋置电容器与绝缘层外的电路互联。
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