发明名称 |
硅片匀胶烘干操作台 |
摘要 |
硅片匀胶烘干操作台,包括操作台本体、匀胶机和烘干箱,在所述操作台本体桌面前端设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干箱设置在操作台本体桌面后方,烘干箱内设置有加热灯泡和硅片托板,所述加热灯泡固定在烘干箱顶端,所述硅片托板可抽拉地设置在烘干箱内,硅片托板一端设置有把手,硅片托板的表面设置有弧形挡条。本实用新型将匀胶机和烘干设备设置在一个操作台上,操作方便;烘干箱采用加热灯泡,能耗低,硅片托板在烘干箱内对称倾斜设置,烘烤硅片数量多,效果好;烘干箱两侧设置百叶窗开口,可使烘干箱内的蒸汽散出。 |
申请公布号 |
CN204194239U |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201420669474.0 |
申请日期 |
2014.11.11 |
申请人 |
临沂大学 |
发明人 |
王涛 |
分类号 |
B05C9/14(2006.01)I;B05C11/08(2006.01)I;B05D3/14(2006.01)I |
主分类号 |
B05C9/14(2006.01)I |
代理机构 |
济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 |
代理人 |
王汝银 |
主权项 |
一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干箱,在所述操作台本体桌面前端设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干箱设置在操作台本体桌面后方,烘干箱内设置有加热灯泡和硅片托板,所述加热灯泡固定在烘干箱顶端,所述硅片托板可抽拉地设置在烘干箱内,硅片托板一端设置有把手,硅片托板的表面设置有弧形挡条。 |
地址 |
276000 山东省临沂市兰山区工业大道北段西侧临沂大学 |