发明名称 フレキシブルデバイスの製造方法
摘要 支持基板(11)に粘着層(12)を形成する粘着層形成工程と、粘着層(12)の粘着特性を調整する粘着特性調整工程と、フレキシブル基板(13)を仮接着する仮接着工程と、電子素子層(14)を形成する電子素子形成工程と、フレキシブル基板(13)を剥離する剥離工程とを含み、粘着特性調整工程を経ずに電子素子形成工程を終えた場合の電子素子形成工程後の剥離強度をPA、粘着特性調整工程を経て電子素子形成工程を終えた場合の電子素子形成工程後の剥離強度をPBとし、粘着特性調整工程において、PB<PAの関係を満たすように粘着層(12)の粘着特性を調整する。
申请公布号 JPWO2013021560(A1) 申请公布日期 2015.03.05
申请号 JP20130527857 申请日期 2012.07.24
申请人 パナソニック株式会社 发明人 田中 裕司;奥本 健二
分类号 G09F9/00;G09F9/30;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L27/32;H01L29/786;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 主分类号 G09F9/00
代理机构 代理人
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