マイクロレンズアレイ用成形型、その製造方法及びマイクロレンズアレイ

摘要

本発明は、応力集中を緩和する形状を有するマイクロレンズアレイを製造可能なマイクロレンズアレイ用成形型及びその製造方法並びにマイクロレンズアレイを提供する。本発明のマイクロレンズアレイ用成形型の製造方法は、板状素材１１の表面に凹面状の成形面２ａを複数個形成し、その後、前記成形面より大径の弾性核体及び前記弾性核体の表面に固着された砥粒とからなる研磨粒子１４を、成形面２ａを有する成形型表面に噴射して衝突させ、成形型表面を研磨することを含むものである。