双波长激光退火装置

摘要

本实用新型涉及双波长激光退火装置，包含绿光激光器和红外激光器，绿光激光器的输出光路上依次布置扩束模块、绿光条形光斑整形模块和绿光45度反光镜，红外激光器的输出光路上依次布置红外条形光斑整形模块和红外45度反光镜，绿光45度反光镜和红外45度反光镜的输出光路设置有合束投影聚焦镜，合束投影聚焦镜的输出光路设有可变光阑，可变光阑的输出端正对于加工平台。通过光学组件调节使两束激光合于一束，经光学元件间配合调节转换后，由高斯圆形分布转换为条形高斯分布，合束后激光为条形光斑；红外波长的引入，使光斑具有更深的退火深度，使激光作用在材料表面瞬间温度升高，提高注入离子的激活率，具有更优异的加工效果。

主权项

双波长激光退火装置，其特征在于：包含绿光激光器和红外激光器，绿光激光器的输出光路上依次布置扩束模块、绿光条形光斑整形模块和绿光45度反光镜，红外激光器的输出光路上依次布置红外条形光斑整形模块和红外45度反光镜，绿光45度反光镜和红外45度反光镜的输出光路设置有合束投影聚焦镜，合束投影聚焦镜的输出光路设有可变光阑，可变光阑的输出端正对于加工平台。