发明名称 切削装置(一)
摘要 本发明之课题为提供一种可有效率地对支撑轴盘装卸切削刀片的切削装置。解决手段为,切削装置之切削机构具备,装设于转轴前端部的支撑轴盘、可装卸地被支撑在该支撑轴盘上之切削刀片,以及用于固定该支撑轴盘所支撑之该切削刀片的固定轴盘。该支撑轴盘包含,可插入形成于该切削刀片之的开口部的轴套部、一体地形成在该轴套部外周且支撑该切削刀片之表面的护缘部,以及嵌合于该转轴之前端部的圆筒部。该支撑轴盘的该护缘部形成有在该固定轴盘侧做出开口的吸引孔,该支撑轴盘的该圆筒部形成有连通该吸引孔之连通孔,该连通孔并透过固定于该转轴壳体上的旋转接合器和开关阀选择性地连通该吸引源。在支撑轴盘的环状支撑面和固定轴盘的环状加压面上形成有使其和切削刀片的磨擦提高的微细凹凸。
申请公布号 TW201508832 申请公布日期 2015.03.01
申请号 TW103119404 申请日期 2014.06.04
申请人 迪思科股份有限公司 DISCO CORPORATION 发明人 脇田信彦 WAKITA, NOBUHIKO
分类号 H01L21/304(2006.01);B28D5/02(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群陈文郎
主权项
地址 日本 JP