发明名称 |
一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器 |
摘要 |
本实用新型属于半导体气敏元件技术领域,具体涉及一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器,从下至上依次包括:钛片、二氧化钛纳米管阵列层、金属钯层、金属电极层,所述二氧化钛纳米管阵列层为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器在室温下具有良好的灵敏度,快速的响应时间和低的氢气检测下限值,同时所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器的制备方法简便,易于实现。 |
申请公布号 |
CN204177762U |
申请公布日期 |
2015.02.25 |
申请号 |
CN201420637782.5 |
申请日期 |
2014.10.30 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
沈洁;谢贵久;颜志红;曹勇飞;潘喜成;宋祖殷 |
分类号 |
G01N27/12(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/12(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强 |
主权项 |
一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器,所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器从下至上依次包括:钛片(1)、二氧化钛纳米管阵列层(2)、金属钯层(3)、金属电极层(4),其特征在于:所述二氧化钛纳米管阵列层(2)为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |