发明名称 一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器
摘要 本实用新型属于半导体气敏元件技术领域,具体涉及一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器,从下至上依次包括:钛片、二氧化钛纳米管阵列层、金属钯层、金属电极层,所述二氧化钛纳米管阵列层为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器在室温下具有良好的灵敏度,快速的响应时间和低的氢气检测下限值,同时所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器的制备方法简便,易于实现。
申请公布号 CN204177762U 申请公布日期 2015.02.25
申请号 CN201420637782.5 申请日期 2014.10.30
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 沈洁;谢贵久;颜志红;曹勇飞;潘喜成;宋祖殷
分类号 G01N27/12(2006.01)I 主分类号 G01N27/12(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器,所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器从下至上依次包括:钛片(1)、二氧化钛纳米管阵列层(2)、金属钯层(3)、金属电极层(4),其特征在于:所述二氧化钛纳米管阵列层(2)为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。
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