用于提高衬底载体的性能的方法

摘要

一种用于提高衬底载体的性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。

主权项

一种衬底载体，包括：支撑一个或多个衬底的底面的凹口，所述凹口的局部化区域的至少一个物理性质被这样修改，即首先使在所述一个或多个衬底的生长表面上沉积的层的测量的参数与所述凹口的至少一个物理性质关联，然后响应于测量的参数修改所述凹口的局部化区域的至少一个物理性质。