发明名称 |
形成透明电极以及制造液晶显示装置的阵列基板的方法 |
摘要 |
公开了形成透明电极以及制造液晶显示装置的阵列基板的方法。所述形成透明电极的方法包括:在基底上形成第一透明导电材料层;对所述第一透明导电材料层进行等离子体工艺,以使所述第一透明导电材料层的上部变为半透明;在所述第一透明导电材料层上形成第二透明导电材料层;将所述第二透明导电材料层和所述第一透明导电材料层构图;以及将被构图的所述第二透明导电材料层和被构图的所述第一透明导电材料层退火,以使所述第一透明导电材料层的上部变为透明。 |
申请公布号 |
CN102902111B |
申请公布日期 |
2015.02.25 |
申请号 |
CN201210220323.2 |
申请日期 |
2012.06.28 |
申请人 |
乐金显示有限公司 |
发明人 |
金容一;金正五;白正善;洪基相 |
分类号 |
G02F1/1343(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1343(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;钟强 |
主权项 |
一种形成透明电极的方法,包括:在基底上形成第一透明导电材料层;用氢气对所述第一透明导电材料层进行等离子体工艺,以使所述第一透明导电材料层的上部变为半透明;在所述第一透明导电材料层上形成第二透明导电材料层;将所述第二透明导电材料层和所述第一透明导电材料层构图;以及将被构图的所述第二透明导电材料层和被构图的所述第一透明导电材料层退火,以使所述第一透明导电材料层的上部变为透明。 |
地址 |
韩国首尔 |