| 摘要 |
発熱点検出方法は、集積回路Ｓに低周波数のバイアス電圧を印加し、それに応じて集積回路Ｓから検出される発熱検出信号を取得するステップＳ０１，Ｓ０２と、集積回路Ｓに高周波数のバイアス電圧を供給し、それに応じて集積回路Ｓから検出される発熱検出信号を取得するステップＳ０３，Ｓ０４と、低周波数のバイアス電圧と発熱検出信号との間の位相差、及び高周波数のバイアス電圧と発熱検出信号との間の位相差を検出するステップＳ０５〜Ｓ０７と、それらの位相差に基づいて、バイアス電圧の周波数の平方根に対する位相差の変化率を算出し、変化率から発熱点の深さ情報を得るステップＳ０８とを備える。 |
