| 摘要 |
本発明は、空隙部（１０）を有する空隙配置構造体（１）に被測定物（２）を保持し、前記空隙配置構造体（１）に電磁波を照射して、前記空隙配置構造体（１）から反射された電磁波の周波数特性を検出することにより、前記被測定物（２）の特性を測定する測定方法であって、前記空隙配置構造体（１）の一方の主面である第１主面の少なくとも一部に直接的または間接的に液体（３）を付着させ、前記空隙配置構造体（１）の他方の主面である第２主面側から電磁波を照射するステップを含み、前記空隙配置構造体（１）の空隙部（１０）は、前記液体（３）が前記第１主面側から前記第２主面側へ漏れないような大きさであり、前記液体（３）は、気圧が存在する雰囲気下に開放された状態で、前記空隙配置構造体（１）の第１主面に付着していることを特徴とする、測定方法である。 |
