发明名称 |
光转换用陶瓷复合体及其制造方法 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI473872 |
申请公布日期 |
2015.02.21 |
申请号 |
TW100145499 |
申请日期 |
2011.12.09 |
申请人 |
宇部兴产股份有限公司 |
发明人 |
稻森太;河野孝史;土肥俊郎;黑河周平 |
分类号 |
C09K11/80;C04B35/622;H01L33/50 |
主分类号 |
C09K11/80 |
代理机构 |
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代理人 |
阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
主权项 |
一种光转换用陶瓷复合体之制造方法,具备研磨步骤,该步骤系对具有Al2O3相及Al2O3以外之氧化物结晶相连续且三维地相互交杂而成之组织的凝固体表面进行CMP;且将进行CMP时之研磨液之pH调整为11~12。 |
地址 |
日本 |