| 主权项 |
一种位移量测方法，其特征在于：藉由准直透镜而使自光源所发射之光成为平行光；藉由配置于上述平行光之光轴上之第1绕射光栅，而使上述平行光分成与该平行光朝同方向行进之0次光及相对于该0次光具有绕射角之±n次光(n为1以上之自然数)而行进；藉由光栅间距与上述第1绕射光栅相同，且配置成与该第1绕射光栅对向并可相对地移动之第2绕射光栅，而使经过上述第1绕射光栅后之0次光及±n次光分别进而分成直进之0次光、与±n次光而行进；以夹着上述第1及第2绕射光栅而配置于上述光源的相反侧之第1光感测器，接收经过上述第1及第2绕射光栅后之绕射光中的沿着由上述第1绕射光栅所产生之0次光、+n次光或-n次光之任一者的光轴之至少一组干涉光，并进行光量检测；且自与上述第2绕射光栅之相对于上述第1绕射光栅之移动量对应之干涉条纹或其信号，测定上述第1与第2绕射光栅间之上述平行光之光轴方向之位移量。 |
