硅太阳能电池制造工段运输真空泵用的运泵保护工具

摘要

本实用新型公开了硅太阳能电池制造工段运输真空泵用的运泵保护工具，所述运泵保护工具包括承托主体和缓冲坡，所述承托主体为水平设置的矩形板，承托主体用于承载真空泵，所述承托主体的底部设置有插槽，用于运输真空泵的液压车的叉齿插入，将载泵的运泵保护工具托起，所述缓冲坡铰接在承托主体的一侧，所述缓冲坡作为真空泵运送到承托主体上的运输轨道，所述缓冲坡水平放置，该缓冲坡还能够绕铰接轴转动至竖直位置，所述的缓冲坡为直角锥形坡，便于真空泵的运送。该运泵保护工具用来安全运输管式PECVD的真空泵，结构简单、操作方便且运送安全。

主权项

硅太阳能电池制造工段运输真空泵用的运泵保护工具，其特征在于：所述运泵保护工具包括承托主体(1)和缓冲坡(2)，所述承托主体(1)为水平设置的矩形板，承托主体(1)用于承载真空泵(5)，所述承托主体(1)的底部设置有插槽(4)，用于运输真空泵(5)的液压车的叉齿插入，将载泵的运泵保护工具托起，所述缓冲坡(2)铰接在承托主体(1)的一侧，所述缓冲坡(2)作为真空泵运送到承托主体(1)上的运输轨道，所述缓冲坡(2)水平放置，该缓冲坡(2)还能够绕铰接轴转动至竖直位置，所述的缓冲坡(2)为直角锥形坡，便于真空泵(5)的运送。