一种参数可调的微波等离子体产生装置

摘要

本发明提供一种参数可调的微波等离子体产生装置，该装置包括：磁控管、水负载、三销钉、多级磁场、密度调节组件、过渡段、共振腔、加速栅、环形器、激励腔及中和灯丝；其连接关系为：磁控管安装在激励腔上，激励腔与环形器的一端连接，环形器的另一端通过过渡段与共振腔连接，三销钉安装在过渡段上；环形器外安装水负载；多级磁场安装在共振腔外，共振腔的端面安装密度调节组件，在密度调节组件的外表面安装加速栅，中和灯丝安装在加速栅的外端面；密度调节组件包括前密度调节板和后密度调节板，密度调节板上设有多个密度调节孔，加速栅上设有两组直径不同的加速孔。本发明等离子体产生装置的电子密度和离子密度可调。

主权项

一种参数可调的微波等离子体产生装置，其特征在于，该装置包括磁控管(1)、水负载(2)、三销钉(3)、多级磁场(4)、密度调节板(5)、共振腔(6)、加速栅(7)、环形器(8)、激励腔(9)、中和灯丝(10)及过渡段；其连接关系为：磁控管(1)安装在激励腔(9)上，激励腔(9)与环形器(8)的一端连接，环形器(8)的另一端通过过渡段与共振腔(6)连接，三销钉(3)安装在过渡段上；环形器(8)外安装水负载(2)；共振腔(6)外安装多级磁场(4)，共振腔(6)的端面安装密度调节组件，在密度调节组件(5)的外表面安装加速栅(7)，中和灯丝(10)安装在加速栅(7)的外端面；密度调节组件(5)包括前密度调节板和后密度调节板，前、后密度调节板相同，并可绕同一转动轴相对转动；其中，密度调节板上设有多个密度调节孔，多个密度调节孔均匀设置于以转动轴为圆心的圆上；加速栅(7)上设有两组直径不同的加速孔，两组加速孔分别设置于以加速栅中心为圆心的两个同心圆上，且加速栅上所加载的电压可调。