测量倒角台平坦度的方法;METHOD OF MEASURING FLATNESS OF CHAMFERING TABLE

摘要

一种测量倒角台平坦度的方法，其步骤包括：将基板定位于倒角台上、参照基板的高度改变倒角轮的相对高度时利用倒角轮将基板的边缘倒角复数次、将倒角边缘上下对称的地方定位为对称倒角点、将倒角轮的相对高度的数值与所找到的对称倒角点进行比对、以及藉由与对称倒角点吻合的倒角轮的相对高度的数值获得倒角台的平坦度。