| 摘要 |
用于改善多种流体型式之一流量之控制之一种系统及方法系被叙述。该方法包括：对于将被控制之该制程气体选择一制程气体型式以及获得对于该被选择之制程气体型式分子质量资讯。一般特性化资料系被获得，其包括，对于复数个流量及压力值对之每一个，一对应之控制讯号值，以及运作特性化资料系藉由根据方程式Fadj=Fcal*(Mcal/Mpr) k 修正于该一般特性化资料中之流量值而被产生，其中，Fadj系为一被调整流量值，Fcal系为被校准流量值，Mpr系为对于该被选择制程气体型式之分子质量，以及Mcal系为对于校准气体之一分子质量。该运作特性化资料然后系被使用去运作该质流控制器之一阀于一开放回圈控制模式之中。 |
