| 摘要 |
【課題】金属から非金属までの多種に渡るワークの材質及びその厚み等によるワークのボンディング面の温度の低下を防止することが可能なボンディング装置を提供すること。【解決手段】表面又は内部に上面ヒータ（第１のヒータ）２２が設けられ、被ボンディング部品としてのワーク５０の表面を押さえるワーク押さえと、ワーク５０の下面から加熱する下面ヒータ（第２のヒータ）１２が設けられ、ワークの下方に設けられたヒータブロックとを有し、上面ヒータ２２と下面ヒータ１２は、それぞれ独立して制御可能で有り、上面ヒータ２２のみによるワーク５０の加熱、下面ヒータ１２のみによるワーク５０の加熱、又は上面ヒータ２２と下面ヒータ１２とによるワーク５０の加熱の何れかを選択可能に構成する。【選択図】図１ |
