圧電材料及び特性制御方法

摘要

特に、圧電材料及びその製造方法、具体的には、リラクサ圧電基板内に結晶構造が異なる領域を形成する方法を開示する。方法は、圧電基板を転移温度より高く、キュリー温度より低い温度に加熱し、第１の結晶構造への第１の相転移を引き起こすステップと、第１の結晶構造が維持されるために十分な冷却速度で、圧電基板を転移温度より低い温度に急速に冷却するステップと、圧電基板の１つ以上の選択された領域に電界を印加して、１つ以上の選択された領域内で、第２の結晶構造への第２の相転移を引き起こすステップとを有する。【選択図】 図１