磁传感器的检查装置和检查方法

摘要

本发明涉及磁传感器的检查装置和检查方法。磁传感器检查装置具有矩形框，该矩形框包括平台、探测器卡和多个磁场产生线圈。磁传感器的晶片状阵列被安装在平台上，平台能够在水平方向和竖直方向上移动。探测器卡包括多个探测器，多个探测器与在测量区域中包围的多个磁传感器接触。驱动磁场产生线圈来朝向平台产生磁场。多个磁场环境测量传感器被布置在围绕探测器的探测器卡的外围部分中。磁场控制器基于磁场环境测量传感器的测量结果来控制由磁场产生线圈产生的磁场。从而，能够使用探测器卡同时检查磁传感器的晶片状阵列。

主权项

一种磁传感器检查装置，包括：平台，所述平台用于在其上安装多个磁传感器的晶片状阵列，所述平台能够在水平方向和竖直方向上移动；探测器卡，所述探测器卡被定位为与所述平台相对，并且所述探测器卡配备了多个探测器，所述多个探测器与被包围在测量区域中的所述多个磁传感器中的预定数量磁传感器接触；多个磁场产生线圈，所述多个磁场产生线圈被定位为围绕所述探测器卡和所述平台，以便朝向在所述平台上安装的所述多个磁传感器产生磁场；多个磁场环境测量传感器，所述多个磁场环境测量传感器被布置在围绕所述多个探测器的所述探测器卡的外围部分中；以及磁场控制器，所述磁场控制器用于基于所述多个磁场环境测量传感器的测量结果来控制由所述磁场产生线圈产生的磁场。