一种MEMS电路盖子及其制作方法

摘要

本发明公开了一种MEMS电路盖子及其制作方法，其中：包括一个由环氧树脂注塑成型的盖体，所述盖体中间设有支撑点，该支撑点的一侧设有透气孔；制作方法包括框架载体与塑封模具，所述框架载体上设置有若干个与盖子大小匹配的空位，所述塑封模具包括有若干个模盒，每个模盒内至少可容纳一个所述框架载体，所述模盒对应所述框架载体上的每个空位处分别设有一个空穴，该空穴形状与所述盖子形状匹配，先将所述框架载体放置于所述模盒内，使空位与空穴位置对应，然后闭合塑封模具，将环氧树脂溶液注入模盒中，充填满每一个空穴，最后打开塑封模具，取出带有盖子的框架载体，完成盖子的制作。本发明可实现全自动加盖工艺，提高生产效率，降低了成本。

主权项

一种MEMS电路盖子，其特征在于：包括一个由环氧树脂注塑成型的盖体，所述盖体中间设有支撑点，该支撑点的一侧设有透气孔。