主权项 |
一种带电粒子射束微影系统,其包括:一带电粒子光学柱,其会被排列在一真空室之中,用以将一带电粒子射束投射至一目标物之上,其中,该柱体包括偏折构件,用以将该带电粒子射束偏折在一偏折方向中,一目标物定位装置,其包括一用于携载该目标物的载体,以及一用于携载并且沿着第一方向来移动该载体的平台,其中,该第一方向不同于该偏折方向,其中,该目标物定位装置包括一第一致动器,用于相对于该带电粒子光学柱而在该第一方向中移动该平台,其中,该载体系以可移动的方式被排列在该平台之上,且其中,该目标物定位装置包括固持构件,用于依照该平台而将该载体固持在第一相对位置中。 |