| 主权项 |
一种同步式动态轮廓量测干涉仪，其包括：一第一半波长相位延迟片，用以将一入射光波的线偏振态方向调整为与水平轴向夹一角度(θ)；一第一光学偏振分光装置，用以将穿透该第一半波长相位延迟片入射光分为水平线偏振分量的讯号光波，和垂直线偏振分量的参考光波；一第二光学偏振分光装置，用以允许讯号光波穿透；一第一1/4波长相位延迟片，用以将前述讯号光波的线偏振态调整为圆偏振态，该讯号光波穿透至一待测元件并沿原路径反射，同时该第一1/4波长相位延迟片将光波的圆偏振态调整为线偏振态，当反射到该第二光学偏振分光装置后，该讯号光波被90度反射；一第三光学偏振分光装置，用以将参考光波反射至做周期性振动的一平面反射镜，并允许由平面反射镜反射回来的参考光波，穿透该光学偏振分光装置；一第二1/4波长相位延迟片，用以将前述参考光波的线偏振态调整为圆偏振态，该参考光波穿透至该平面反射镜并原路径反射到该第三光学偏振分光装置，同时将参考光波的圆偏振态调整为线偏振态；一第二半波长相位延迟片，用以接受该第三光学偏振分光装置穿透的参考光波，并将参考光波的水平线偏振调整回垂直线偏振；及一偏振无关分光镜，用以将前述参考光波及讯号光波互相叠合，并以同轴行进方式，将参考光波及讯号光波由该偏振无关分光镜聚焦至一二维光电转换装置。 |
