| 发明名称 | 薄膜沉积装置及方法，以及有机发光显示装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 提供了一种薄膜沉积装置，使用该装置的沉积方法，以及使用该装置制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积装置设置为包括腔室，该腔室包括基底安置在其上的基底保持装置、改变基底保持装置的旋转和倾斜角的旋转杆单元、以及供给用于在基底上形成薄膜的薄膜材料的靶单元。 | ||
| 申请公布号 | CN104342635A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201410350463.0 | 申请日期 | 2014.07.22 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 李雄洙;朴镇宇;崔修赫 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;刘铮 |
| 主权项 | 一种薄膜沉积装置，所述薄膜沉积装置包括腔室，所述腔室包括：基底安置在其上的基底保持装置；旋转杆单元，改变所述基底保持装置的旋转和倾斜角；以及靶单元，供给用于在所述基底上形成薄膜的薄膜材料。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||