软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法

摘要

本发明实施例公开了一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置及方法。所述软性透光物体中蚀刻图案的检测装置包括横向设置的玻璃支撑板，玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，通孔与玻璃支撑板外部的吸风装置连通，玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，设置于玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；面光源为每条凹槽提供的漫射光在玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使漫射光进入玻璃支撑板并由每条对应凹槽边缘射出后进入图像采集设备的接收器。本发明中的检测装置能够大幅降低被检测物的误检率。

主权项

一种软性透光物体中蚀刻图案的检测装置，包括横向设置的玻璃支撑板，所述玻璃支撑板的上表面开有多条相互连通的凹槽；其中一条凹槽的底部设有与玻璃支撑板外部连通的通孔，所述通孔与所述玻璃支撑板外部的吸风装置连通，所述玻璃支撑板的上方设置图像采集装置，其特征在于，所述检测装置还包括：设置于所述玻璃支撑板下方并发射漫射光的面光源；所述面光源为每条凹槽提供的漫射光在所述玻璃支撑板上形成的照射区域的中心与每条对应凹槽的中心在同一垂线上，且所述照射区域的横向宽度与对应凹槽的横向宽度成设定比例，以使所述漫射光进入所述玻璃支撑板并由每条凹槽边缘射出后进入所述图像采集设备的接收器。